西安科技大学拟对射频等离子处理系统进行招标采购，欢迎具有相应资质和供货能力的供应商报名参加。具体参数及要求如下：
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设备名称 （主要性能指标） |
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射频等离子处理系统
1. 微处理器控制：全自动程序控制，一键式操作
2. 现代固态射频技术：0-100瓦功率可调，工作频率为13.56MHz
3. 射频（RF）系统：具有自动调谐匹配功能
4. LCD显示：可实时显示腔室里的各种条件，如真空度、射频功率及时间等
5. 所有工作参数可编程预设，人机界面友好。可储存10个工作程序以便多用户时的不同应用
6. 选择不同的工作气体及工作参数，可具有三大用途：等离子清洁、等离子刻蚀、等离子灰化
7. 紧凑的台式系统
8. 抽拉式门结构：便于样品进出
9. 低温等离子处理过程
10. 具有两个气体入口：可单独使用一种或同时两种
不同的气体，并且两路气体都有流量计控制
11. 有节制的放气系统：减少样品扰动
12. 仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H
13. 重量：25Kg
14. 桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.，标配硼硅酸盐玻璃腔室
15. 真空泵：爱德华RV3型Fomblin防爆机械泵作为标配
16. 真空范围： ATM 到 10-2 mbar量级，通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
17. 数字计时：99.9小时选择范围，倒计时实时显示
18. 电源：230V 50Hz (包括机械泵最大电流5 安培) |
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台 |
一、资质要求：
1.具备指定货物的生产或代理经销资格或专为本项目授权的代理资格；
2.注册资金100万元以上；
3.能够提供本地化技术服务，有良好的售后服务支持体系；
4.在业界已有3年以上的经营历史并享有良好的商业信誉；
5.在高校有良好的业绩；
6.必须能够提供原厂商的保修以及其它优惠服务。
二、报名注意事项：
企业报名采用网上报名方式（http://61.150.69.13/Biddings.asp）。初次报名企业报名结束后须持有以下证件到学校招标办进行资质审核：
（1）法人授权委托书；
（2）营业执照复印件；
（3）企业认为需要提供的其他资料等复印件（须加盖单位公章）
三、报名时间：
2012年10月30日上午9：00至11月5日下午5：00，逾期不再接受。
四、报名地点、联系方式：
西安科技大学临潼校区资产与后勤管理处物资采购科（临潼校区医务楼3楼322# ）
联系电话（传真）： 83858191 联系人：田老师 张老师
西安科技大学物资设备采购与招标办公室
2012年10月29日
